modulo del plc del bordo dell'ASM di 64-21140C 03-21140-06/F 02-33632-06/C
Marca/produttore | ASM/Netherlands |
Numero del pezzo |
64-21140C 03-21140-06/F 02-33632-06/C |
Numero del pezzo alterno |
64-21140C 03-21140-06/F 02-33632-06/C |
Descrizione | Bordo dell'ASM |
Dimennsions | 18.8cm x 12.1cm x 4.6cm |
Peso | 0.26kg |
Dettagli del prodotto
Le materie grezze includono SiCl4, SiHCl3, POCl13, GeCl4 e BBr3. L'altro materiale di verniciatura può
inoltre sia controllato, a condizione che si vaporizzano con concentrazione adeguata per accurato
ratiodetection. I gas inerti includono H2, lui, il N2, l'O2 e l'AR.
Tre uscite sono fornite: Fonte (0 a +5VDC); Trasportatore (0 a +5VDC); Rapporto (0 a +5VDC).
Queste uscite possono essere controllate con tutto il voltometro di CC di 5 volt con una sensibilità di 1000
ohm/volt o più. Una valvola incorporata varia il tasso di portata in peso del trasportatore per controllare la fonte
grammo/minuto selezionato da una tensione di controllo esterno.
Un singolo piccolo pacchetto contiene la sezione del flussometro, il rivelatore di rapporto, valvola di regolazione e
elettronica.
COMANDO che FISSA 0,1 - 5 VCC
INDICAZIONE DELL'USCITA
1. FONTE: proporzionale 0.1-5 VCC linearmente al tasso di portata in peso di liquido vaporizzato
2. TRASPORTATORE: proporzionale 0.1-5 VCC linearmente al tasso di portata in peso di gas inerte
3. RAPPORTO: proporzionale 0.1-5 VCC linearmente al rapporto di flusso del vapore (SCCM) a flusso del trasportatore (SCCM) riportato in scala con 5 VCC = 50%
Si noti che quando non ci sono (cioè nessun controllo) Ratio=0 di ribollimento ed il trasportatore raggiungerà il valore maggior di 5vdc (in genere 5,6 volt).
IMPEDENZA DELL'USCITA: massimo 10 ohm
ONDULAZIONE: 50 sistemi MV pp massimi
Notizie di Moore
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